1、重复定位精度测量原理重复定位精度测量主要用到干涉仪的线性测量，即对待测平移装置的定位进行多次测量，比较得到同一位移指令下的定位精度。线性度测量是激光干涉仪的基本测量，原理如图所示。将一个角锥反射镜安装到分光镜上，组成线性干涉镜，它形成干涉仪的参考光路。另一个角锥反射镜…[详情]

1、平面度 平面测量是在角度测量的基础上做的延伸，利用角度测量的附件记录下一系列平面位置角度，转化为高度的变化，按照对角线的方法测量出平台上不同位置的高度变化值，就可以得到整个平台的平面度。 [详情]

1、角度测量原理 角度测量需要角度干涉镜和角度反射镜，并且角度反射镜和角度干涉镜必须有一个相对旋转。相对旋转后，会导致角度测量的两束光的光程差发生变化，而光程差的变化会被激光干涉仪探测器探测出来，由软件将线性位置的变化转换为角度的变化显示出来。激光干涉仪角度镜能实现±1…[详情]

激光回馈（Laser feedback），又叫激光自混合干涉(self-mixing)，是指激光器输出的光，一部分被外部物体反射或者散射后，携带有外部物体的信息，再次回到激光谐振腔内，从而调制激光器的输出功率、频率、模式、偏振态等的一种物理现象。激光回馈通常被认为是一个需要避免的问题，因为没有…[详情]

1、直线度测量原理 双频激光测头输出光经过直线度干涉镜，按偏振态被分成两束，以一定角度发散后入射到直线度反射镜。光束从直线度反射镜返回，沿新光路回到直线度干涉镜后，合成一束回到光线接收端，进行干涉测量。通过检测光路与干涉镜和反射镜之间的横向位移，就可以得到导轨相对于激…[详情]

1、垂直度测量原理 垂直度测量的主要采用同一个测量基准轴对两个标称正交坐标中的每一个轴测量直线度。对两个直线度测量值进行比较，算出两个轴之间的垂直度。共同的参考基准是直线度反射镜的光学基准轴。需要注意的是，两次测量直线度之间既不移动也不调整。两次直线度测量过程中至少一…[详情]

1、平行度测量原理 平行度测量由两组直线度测量组成，两次测量都以直线度反射镜的光学轴为参考基准。需要说明的是，要得到两轴的平行度，要在两个正交平面内沿每个要被比较的轴测量直线度。因此，平行度或平行线测量实际是四次直线度测量，每次的步骤和方法同测量直线度一样，如下图所示…[详情]

1、回转轴测量原理利用镭测激光干涉仪的角度测量附件，结合高精密转台，便可以对回转轴进行校准。转台小巧轻便，单手可握住并可以多种方式安装到机床上；支持内置电池或线缆供电，蓝牙传输数据；内置准直光靶，提高对光效率；任意角度、任意间隔自动测量。 2、测量步骤和数据处理[详情]

激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干…[详情]

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